恒运昌

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司是国内领先的大规模集成电路晶圆前道薄膜沉积、等离子体刻蚀、光刻、去胶、离子注入及键合等设备的核心零部件供应商,主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、气体流体精密控制,真空获得与计量零部组件的设计、研发、生产、销售及技术服务。公司是国内技术领先、实现大批量产品交付的等离子体射频电源系统企业,产品批量交付国内龙头装备厂商拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等,并配套中芯国际等国内头部晶圆厂。公司成立于2013年3月,总部位于深圳市宝安区,已获得ISO9001、ISO14001体系的认证。公司是国家专精特新重点“小巨人”、国家专精特新“小巨人”、中国集成电路零部件创新联盟理事单位、国家高新技术企业、“科创中国”射频开关电源创新基地、广东省2024年制造业单项冠军、广东省射频开关电源工程技术研究中心,并获得第六届中国集成电路创新联盟“IC创新奖”、广东省真空科技进步一等奖、2024年“湾芯奖”之“核心零部件创新奖”、中芯国际“零部件模组战略供应商”、拓荆科技“超卓伙伴奖”和“最佳交付奖”、微导纳米“最佳合作奖”等荣誉。公司将持续致力于半导体设备核心零部件的研发生产,为客户提供全面的一体化解决方案,践行社会责任,深耕产业,彰显担当,为国家集成电路装备产业的高质量发展贡献力量。

等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务,并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件,围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案